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    雙軸mems陀螺儀的使用

     時間:2020-07-09 | 瀏覽: 次 | 來源:天羿領航
        微電子機械系統(MEMS)是一種用于微米/納米材料的設計、加工、制造、測量和控制的技術。它可以將機械部件、光學系統、驅動部件和電子控制系統集成成一個完整的微系統單元。這是一個生產過程結合微電子技術和微加工技術生產各種性能優良、低成本、微硅微加工技術包括身體微加工,硅表面微加工。MEMS慣性傳感器是利用MEMS技術開發的一種典型的微傳感器。隨著MEMS技術的發展,MEMS慣性傳感器(包括加速度計和陀螺儀)的性能指標越來越高。MEMS慣性傳感器具有體積小、價格低廉的優點,在工業、醫療等消費電子產品中發揮著重要作用。

        在MEMS陀螺儀中,硅振動微機械陀螺儀是最常見的陀螺儀。陀螺儀利用科里奧利效應來檢測角速度。其基本工作原理是使檢測質量沿驅動方向進行線性或角度振動,進入驅動模式。當沿敏感軸有角速度輸入時,在探測軸方向會出現科里奧利力,迫使探測質量沿探測方向位移。輸入角速度與科里奧利力大小成正比,通過檢驗科里奧利力引起的位移變化可以直接得到輸入角速度信息。


        例如,z軸陀螺儀在垂直面中的驅動方向為平面中的x軸方向,探測方向為平面中的y軸方向。目前,在常用的MEMS處理方法的幫助下,很容易在硅片上形成移動塊和驅動/檢測電極。因此,z軸陀螺儀在市場上得到了廣泛的應用。


        雙軸或多軸陀螺儀通常采用垂直封裝的方式實現,但這種方式實現的陀螺儀尺寸較大,封裝成本較高。因此,為了實現高性能單芯片雙軸MEMS陀螺儀,人們嘗試了各種方法,但都沒有突破性的技術。
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