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      MEMS加速度計的核心是什么

       時間:2020-07-29 | 瀏覽: 次 | 來源:天羿領航
          隨著硅微加工技術(MEMS)的飛速發展,各種基于MEMS技術的器件應運而生。目前,壓力傳感器、加速度傳感器、光開關等已經得到了廣泛的應用,它們具有體積小、重量輕、成本低、功耗低、可靠性高等特點。其加工技術與傳統集成電路技術具有一定的兼容性,易于實現數字化、智能化和大批量生產。因此,自其產生以來就引起了廣泛的關注,廣泛應用于汽車、醫藥、導航與控制、生化分析、工業檢測等領域。加速度傳感器是應用最廣泛的例子之一。

          加速度傳感器的原理隨應用的不同而不同,包括壓阻式、電容式、壓電式、諧振式等。


          在任何情況下,加速度傳感器都需要得到直線運動情況下的加速度,通過內芯原理得到不同的值,通過求解得到所需的數據。


          一般加速度計是單軸加速度計從一個方向運動得到的數據,通過將電容工作原理得到的壓差值轉換得到相應的加速度數據。根據載流子在不同方向上的運動,從雙軸、三軸以及同一方向(X-y-Z)三個三維坐標方向,可以得到三種不同坐標系下的X、y、Z的加速度值。并通過對微電路解決方案中應有的數據信息進行計算得到結果。


          因此,MEMS加速度計的核心是通過結構模式的值來判斷其精度和穩定性是否滿足客戶的要求。
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