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    MEMS加速度計前景如何?

     時間:2019-09-10 | 瀏覽: 次 | 來源:天羿領航
      MEMS加速度計前景如何?MEMS加速度計也叫微機電系統,它是將微電子技術與機械工程融合到一起的一種工業技術,操作范圍在微米范圍內。比它更小的,在納米范圍的類似的技術被稱為納機電系統。下面小編就簡要介紹下MEMS加速度計的前景。
      
      MEMS技術的優勢
      
      MEMS的技術基礎主要包括設計與仿真技術、材料與加工技術、封裝與裝配技術、測量與測試技術、集成與系統技術等。MEMS相對于傳統的機械,它們的尺寸更小,最大的不超過一個厘米,甚至僅僅為幾個微米,其厚度就更加微小。
      
      采用以硅為主的材料,電氣性能優良,硅材料的強度、硬度和楊氏模量與鐵相當,密度與鋁類似,熱傳導率接近鉬和鎢。采用與集成電路(IC)類似的生成技術,可大量利用IC生產中的成熟技術、工藝,進行大批量、低成本生產,使性價比相對于傳統“機械”制造技術大幅度提高。
      MEMS加速度計
      1、微型化 MEMS器件體積小,重量輕,耗能低,慣性小,諧振頻率高,響應時間短。MEMS系統與一般的機械系統相比,不僅體積縮小,而且在力學原理和運動學原理,材料特性、加工、測量和控制等方面都將發生變化。在MEMS系統中,所有的幾何變形是如此之小(分子級),以至于結構內應力與應變之間的線性關系(虎克定律)已不存在。
      
      2、批量生產 MEMS采用類似集成電路(IC)的生產工藝和加工過程,用硅微加工工藝在一硅片上可同時制造成百上千個微型機電裝置或完整的MEMS。使MEMS有極高的自動化程度,批量生產可大大降低生產成本;而且地球表層硅的含量為2%。幾乎取之不盡,因此MEMS產品在經濟性方面更具競爭力。
      
      3、集成化 MEMS可以把不同功能、不同敏感方向或制動方向的多個傳感器或執行器集成于一體,或形成微傳感器陣列和微執行器陣列。甚至把多種功能的器件集成在一起,形成復雜的微系統。微傳感器、微執行器和微電子器件的集成可制造出高可靠性和穩定性的微型機電系統。
      
      MEMS加速度計應用前景
      
      MEMS技術的發展開辟了一個全新的技術領域和產業,采用MEMS技術制作的微傳感器、微執行器、微型構件、微機械光學器件、真空微電子器件、電力電子器件等在航空、航天、汽車、生物醫學、環境監控、軍事以及幾乎人們所接觸到的所有領域中都有著十分廣闊的應用前景。
      
      MEM加速度計最初大量用于汽車安全氣囊,而后以MEMS傳感器的形式被大量應用在汽車的各個領域,隨著MEMS技術的進一步發展,以及應用終端“輕、薄、短、小”的特點,對小體積高性能的MEMS產品需求增勢迅猛,消費電子、醫療等領域也大量出現了MEMS產品的身影。
      
      MEMS加速度計技術正發展成為一個巨大的產業,就象近20年來微電子產業和計算機產業給人類帶來的巨大變化一樣,MEMS也正在孕育一場深刻的技術變革并對人類社會產生新一輪的影響。目前MEMS市場的主導產品為壓力傳感器、加速度計、微陀螺儀、墨水噴咀和硬盤驅動頭等。
      
      以上就是MEMS加速度計的前景介紹,需要對你有幫助。
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